[发明专利]放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法

摘要

放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法，涉及光学及精密加工领域，为了解决现有对收集镜进行加工的方法，加工工艺要求非常高，增加了加工成本的问题。该方法为：毛坯成型，粗车加工，预车加工，镀镍磷合金层，精车加工，人工抛光处理，面型检测，车削边沿，完成收集镜的制作。本发明采用直接车削的方法，加工时间短，大幅度的降低了成本，适用于车削加工放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜。

主权项

放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、毛坯成型，锻造铝合金坯料，得到毛坯工件，所述坯料为管材；步骤二、粗车加工，对毛坯工件进行粗车加工得到筒形工件，筒形工件小口径端设有一圈边沿；步骤三、预车加工，利用金刚石车床对步骤二得到的筒形工件进行车加工得到收集镜筒坯；步骤四、镀镍磷合金层，用化学镀方法在步骤三得到的收集镜筒坯内表面镀厚度达200μm的镍磷合金层；步骤五、精车加工，对步骤四镀镍磷合金层后的收集镜筒坯进行精车加工；步骤六、人工抛光处理，对步骤五精车加工后的收集镜筒坯人工抛光处理；步骤七、面型检测，对抛光后的收集镜筒坯的内表面面型进行检测，如果面型符合收集镜面型的要求则进行步骤八，否则返回步骤六；步骤八、车削边沿，将检测后符合要求的收集镜筒坯的边沿车削掉，完成收集镜的制作。