[发明专利]掩膜板以及掩膜板的组装方法在审
| 申请号： | 201610438013.6 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105839052A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩膜板以及掩膜板的组装方法。该掩膜板包括覆盖条、支撑条以及至少一个掩膜片，掩膜片包括一个掩膜区域，整个掩膜区域分布有掩膜图案，覆盖条以及支撑条交叉以将掩膜区域划分为多个掩膜单元。该掩膜片没有设置实部和部分刻蚀部。由此，在掩膜片拉伸的时候，掩膜片不会产生不同程度的褶皱，从而可提高沉积或蒸镀图案的精度，另一方面也可提高掩膜板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 以及 组装 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括：覆盖条；支撑条；以及至少一个掩膜片，其中，所述掩膜片包括一个掩膜区域，整个所述掩膜区域分布有掩膜图案，所述覆盖条以及所述支撑条交叉以将所述掩膜区域划分为多个掩膜单元。
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