[发明专利]腔内倍频增强型激光器

摘要

本发明提供了一种腔内倍频增强型激光器，包括第一反射镜、SHG特性晶体、THG特性晶体、第二反射镜和第三反射镜，第二反射镜用于反射THG特性晶体中传播的第一倍频光和第二倍频光在布儒斯特角平面进行反射至THG特性晶体内部，之后又透射出THG特性晶体的反射待用倍频光，第三反射镜用于反射THG特性晶体中传播的第一倍频光和第二倍频光在布儒斯特角平面进行折射出THG特性晶体的折射待用倍频光，以光路可逆性的回收折射待用倍频光和反射待用倍频光至THG特性晶体中进行再和频，通过回收充分利用了紫外激光器腔内倍频的倍频光，降低了激光器的无效损耗，使和频的效率最大，同时回收后的倍频光可进行多次和频，增加了紫外光的功率输出。

主权项

一种腔内倍频增强型激光器，其特征在于，包括依次同向排列分布的第一反射镜、SHG特性晶体和THG特性晶体，所述第一反射镜用于反射从所述THG特性晶体射入传播的基频光经过所述SHG特性晶体到达所述第一反射镜的所述基频光和第一倍频光，以使所述基频光和所述第一倍频光按原路返回，进而透射到所述SHG特性晶体进行Ⅰ类相位匹配的倍频，产生出第二倍频光，同时透射出所述基频光、所述第一倍频光和所述第二倍频光到所述THG特性晶体中进行Ⅱ类相位匹配的和频，以产生及分束输出紫外光，其中，所述第一倍频光为从所述THG特性晶体射入的所述基频光经过所述SHG特性晶体的过程中产生的倍频光，所述SHG特性晶体的入光面和出光面分别镀有用于透射基频光和倍频光的增透膜，以及，所述THG特性晶体的紫外光出光面切割为布儒斯特角平面，所述THG特性晶体出射所述基频光至所述SHG特性晶体的出光面镀有用于透射基频光和倍频光的增透膜和三倍频光高反膜；所述腔内倍频增强型激光器还包括第二反射镜和第三反射镜，所述第二反射镜用于反射所述THG特性晶体中传播的所述第一倍频光和所述第二倍频光，在所述布儒斯特角平面进行反射至所述THG特性晶体内部，之后又透射出所述THG特性晶体的反射待用倍频光，以光路可逆性的回收所述反射待用倍频光至所述THG特性晶体中进行再和频，所述第三反射镜用于反射所述THG特性晶体中传播的所述第一倍频光和所述第二倍频光在所述布儒斯特角平面进行折射出所述THG特性晶体的折射待用倍频光，以光路可逆性的回收所述折射待用倍频光至所述THG特性晶体中进行再和频。