[发明专利]升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备有效
申请号: | 201610439970.0 | 申请日: | 2016-06-17 |
公开(公告)号: | CN106093743B | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 俞健阳;魏振;郭世波;徐敏;陈庆友;程磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/02;B66F7/28 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种升降装置及薄膜晶体管阵列检测设备,属于机械领域。所述升降装置包括:升降台、驱动组件、检测组件和调节组件,驱动组件与升降台相连接,驱动组件用于驱动升降台沿重力方向上下运动;检测组件用于检测升降台的承载面的状态参数,并将状态参数发送至调节组件;调节组件用于根据状态参数确定承载面是否平行于水平面,在承载面不平行于水平面时,对升降台进行调节,使得承载面平行于水平面。本发明解决了位于升降台上的阵列基板容易从升降台上坠落,导致阵列基板受到损伤的问题,实现了防止该承载面上的阵列基板从升降台上坠落,进而防止阵列基板受到损伤的效果,本发明用于阵列基板的检测。 | ||
搜索关键词: | 升降 装置 薄膜晶体管 阵列 检测 设备 | ||
【主权项】:
一种升降装置,其特征在于,所述升降装置包括:升降台、驱动组件、检测组件和调节组件,所述驱动组件与所述升降台相连接,所述驱动组件用于驱动所述升降台沿重力方向上下运动;所述检测组件用于检测所述升降台的承载面的状态参数,并将所述状态参数发送至所述调节组件;所述调节组件用于根据所述状态参数确定所述承载面是否平行于水平面,在所述承载面不平行于水平面时,对所述升降台进行调节,使得所述承载面平行于水平面。
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