[发明专利]靶材组件及其加工方法在审
| 申请号： | 201610440020.X | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN107513691A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;徐礼升 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件及其加工方法，所述靶材组件包括背板，包括焊接区域以及环绕焊接区域的边缘区域；靶坯，焊接于焊接区域的背板上；环形吸附结构，位于边缘区域的背板内且环绕靶坯，环形吸附结构包括一个环形吸附槽；或者，环形吸附结构包括一个环形吸附槽组，环形吸附槽组包括至少两个环形吸附槽，且环形吸附槽呈相互间隔的同心排布。本发明提供一种靶材组件，包括位于边缘区域的背板内且环绕靶坯的环形吸附结构，环形吸附结构包括一个环形吸附槽或环形吸附槽组，环形吸附槽组包括至少两个环形吸附槽；因此在靶材溅射过程中，可以使反溅射材料堆积至环形吸附槽内，从而减少或避免反溅射材料发生剥落而掉落至硅片上的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，其特征在于，包括：背板，包括焊接区域以及环绕所述焊接区域的边缘区域；靶坯，焊接于所述焊接区域的背板上；环形吸附结构，位于所述边缘区域的背板内且环绕所述靶坯，所述环形吸附结构包括一个环形吸附槽；或者，所述环形吸附结构包括一个环形吸附槽组，所述环形吸附槽组包括至少两个环形吸附槽，且所述环形吸附槽呈相互间隔的同心排布。
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