[发明专利]湿式制程设备

摘要

一种湿式制程设备，包含一槽体、多个导轮、多个液浮载板以及一水路模块，所述槽体用以容置一基板，所述多个导轮设置在所述槽体内并用以支撑所述基板的一侧边部，所述多个液浮载板设置在所述基板下方，所述多个液浮载板用以对所述基板喷射一处理液，以在所述基板与所述多个液浮载板间形成一薄膜层流，所述水路模块耦接于所述多个液浮载板，所述水路模块控制所述多个液浮载板产生沿一输送方向流动或沿相反于所述输送方向的一回复方向的所述薄膜层流。

主权项

一种湿式制程设备，可用以支撑一基板，所述基板具有一板体部及一侧边部，所述侧边部延伸于所述板体部，所述板体部具有一上表面及相对所述上表面的一下表面，其特征在于，包含：一槽体，用以容置所述基板；多个导轮，设置在所述槽体内，所述多个导轮对应所述侧边部并用以支撑所述基板的所述侧边部；多个液浮载板，设置在所述下表面下方，所述多个液浮载板用以对所述下表面喷射一处理液，以在所述下表面与所述多个液浮载板间形成一薄膜层流，所述薄膜层流用以液浮支撑所述板体部；以及一水路模块，耦接于所述多个液浮载板，所述水路模块控制所述多个液浮载板产生能沿一输送方向流动的所述薄膜层流或产生能沿相反于所述输送方向的一回复方向流动的所述薄膜层流。