[发明专利]一种蓝宝石抛光废液的回收方法

摘要

本发明公开了蓝宝石抛光废液的回收方法，废液中包含抛光铜盘的铜屑和抛光液中的钻石，结合震动筛分选、化学分离法与电镀法等方法对废液进行回收，提取废液中的铜和钻石，有利于降低生产成本。

主权项

一种蓝宝石抛光废液的回收方法，所述抛光废液为铜盘抛光蓝宝石晶圆后的废料浆，所述抛光废液包含钻石颗粒、树酯铜屑、蓝宝石屑，回收方法包括步骤：S1 收集废料浆，加入相当于废料浆3倍以上的水，有利于超声分散；S2 利用超声波对废料浆进行颗粒超声分散；S3 静置废料浆，沉积颗粒，将水排掉，加热烘干颗粒；S4利用网孔分别为第一孔径和第二孔径的筛网对所述颗粒进行筛选，依次将颗粒中大于第一孔径、位于第一孔径和第二孔径之间、小于第二孔径的颗粒分离；S5 对位于第一孔径和第二孔径之间的颗粒先以硫酸溶液做第一清洗，以水做第二清洗，再以磷酸做第三清洗，经过水做第四清洗后烘干，得到钻石回收颗粒；大于第一孔径的颗粒和小于第二孔径的颗粒用硫酸溶液清洗，得到包含硫酸铜的溶液；S6 步骤5所得的包含硫酸铜的溶液，经过电解，负极析出电解铜。