[发明专利]一种手机面板多层镀膜层及其制备方法

摘要

本发明涉及玻璃基板的多层镀膜的技术领域，更具体地，涉及一种手机面板多层镀膜层及其制备方法。本发明提供了一种在玻璃基板上制备高透、耐磨的多层膜技术，其中具体包括玻璃基板，氧化镁多晶种子层，氧化铝高硬耐磨镀膜层，氧化钛/氧化铝叠层增透层；本发明1）采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术可大面积，均匀成膜，2）通过多晶缓冲层设计，在较低成膜温度下外延生长微晶非晶混合结构的高硬氧化铝镀膜；3）通过氧化铝/氧化钛/氧化铝叠层增加透过率。

主权项

1.一种手机面板多层镀膜层，其特征在于，包括玻璃基板、形成于其上的氧化镁种子层、氧化铝层，其上的氧化钛/氧化铝多层增透层；所述的氧化镁种子层采用MOCVD方法制备，制备温度为300‑600度之间，厚度为2‑10nm，为多晶结构，反应物为高纯氧或者去离子水、二茂镁，氩气或者氮气为载气；所述的氧化铝层，采用MOCVD方法在种子层之上原位制备，制备温度为300‑600度，厚度为500nm‑1um，晶体结构为微晶、纳米晶、非晶混合结构。