[发明专利]声表面波磁传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610443415.5 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106154186B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 童贝;李杨;周卓帆;欧阳君;朱本鹏 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种声表面波磁传感器。所述声表面波磁传感器包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片，所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅，所述叉指电极为磁性叉指电极。本发明同时提供一种声表面波磁传感器的制备方法。本发明的叉指电极为磁性叉指电极，在外加磁场的作用下，叉指电极弹性模量会发生改变，从而整个器件的等效弹性模量也会发生变化，导致声表面波的谐振频率发生改变，能实现检测外界磁场的大小的功能；且具有膜层结构简单、制备方法简单、低成本、高各向异性、高灵敏度、高分辨率、易于微型化等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波磁传感器，包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片，所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅，其特征在于，所述叉指电极为磁性叉指电极。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技(常州)有限公司，未经瑞声声学科技(常州)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610443415.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种枸橼酸托法替尼的合成方法
- 下一篇：一种农作物秸秆发酵生产蛋白饲料的方法
