[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201610443453.0 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106282930B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 风间良秋;后藤亮太;三泽启太;七五三木浩一 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，其易于进行蒸发源的维护作业。一种蒸镀装置，其将收纳有蒸镀材料的蒸发源(2)设置于蒸发源设置部(40)进行蒸镀，其中，该蒸镀装置具备包围所述蒸发源设置部(40)的四周的遮蔽部(5)，所述遮蔽部(5)具有开闭结构。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其是在蒸镀室中具备蒸发源设置部的蒸镀装置，所述蒸发源设置部用于设置收纳成膜材料的蒸发源，其特征在于，所述蒸镀装置构成为，在所述蒸镀装置中设置有包围所述蒸发源设置部的遮蔽部，在所述遮蔽部的上方位置设置有限制板，所述限制板用于限制从设置于所述蒸发源设置部的蒸发源朝向基板释放出的成膜材料的蒸发粒子相对于基板的入射角，在所述遮蔽部中设置有开闭部。
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