[发明专利]氧化石墨烯量子点湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610443637.7 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN106124574B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈向东;李宁 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 敖欢;葛启函 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氧化石墨烯量子点湿度传感器及其制备方法，传感器包括：硅基片、二氧化硅层、第一电极和第二电极、聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜、氧化石墨烯量子点薄膜；制备方法包括以下步骤：(1)在硅基片表面形成一层二氧化硅层，在二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极，得到电极基片,(2)在第一电极和第二电极之间及其表面静电吸附一层聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜，(3)在聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜表面静电吸附一层氧化石墨烯量子点薄膜，本发明的湿度传感器具有极快的响应速度，耐高湿侵蚀，抗电磁干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 石墨 量子 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化石墨烯量子点湿度传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将硅基片清洗干净，在硅基片表面形成一层二氧化硅层，然后用真空镀膜法在二氧化硅层表面形成间距小于等于20微米的第一电极和第二电极，得到电极基片,所述第一电极和第二电极为金电极；(2)将步骤(1)中得到的电极基片浸入浓度为0.2～2.0毫克/毫升的聚二烯丙基二甲基氯化铵水溶液浸泡5～15分钟，通过静电力在第一电极和第二电极之间及其表面吸附一层聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜，将该电极基片转移至去离子水中涮洗1～30分钟，去除掉未牢固附着到第一电极和第二电极之间及其表面的聚二烯丙基二甲基氯化铵，然后将该涮洗后的电极基片放置入不高于50℃的保护气体中静置1～2小时进行干燥处理，从而得到表面附着有一层聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜的电极基片；(3)将步骤(2)中得到的表面附着有一层聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜的电极基片浸入浓度为0.5～2.0毫克/毫升且粒径小于等于20纳米的氧化石墨烯量子点分散液中浸泡5～15分钟，通过静电力在聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜表面吸附一层氧化石墨烯量子点薄膜，将该电极基片转移至去离子水涮洗1～30分钟，去除掉未牢固吸附到聚二烯丙基二甲基氯化铵薄膜表面的氧化石墨烯量子点，然后将该涮洗后的电极基片放置入不高于50℃的保护气体中静置1～2小时进行干燥处理，从而得到表面吸附有一层氧化石墨烯量子点薄膜的电极基片；(4)通过测量步骤(3)中得到的表面吸附有一层氧化石墨烯量子点薄膜的电极基片的第一电极和第二电极之间的电阻变化来测量湿度。
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