[发明专利]蒸发体以及这种蒸发体的运行方式有效
| 申请号： | 201610443781.0 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106282932B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | R.格劳;R.恩古梅尼亚皮;H.施韦格尔;D.王 | 申请（专利权）人： | 肯纳金属公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 卢亚静 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了蒸发体以及这种蒸发体的运行方式。蒸发体(2)用于PVD蒸发设备中并且具有带有中心蒸发面(6)的上表面(4)。为了在构造简单的同时能够阻止散布的金属熔体扩散至装设在端侧处的电极，所述蒸发面(6)在纵向方向(x)上直接以横向槽(8B)为界，所述横向槽针对散布于蒸发面(6)上的金属溶体形成屏障。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 以及 这种 运行 方式 | ||
【主权项】：
一种用于PVD镀膜设备中的蒸发体(2)，其在纵向方向(x)、横向方向(y)以及竖直方向(z)上延伸，具有在所述纵向方向(x)和所述横向方向(y)上延伸的上表面(4)，所述上表面中央具有蒸发面(6)，由环绕的边缘区域(10)为界。其特征在于，所述蒸发面(6)在所述纵向方向(x)上直接以横向槽(8B)为界，所述横向槽针对散布在所述蒸发面(6)上的金属熔体形成屏障，并且不属于所述蒸发面(10)的所述边缘区域(10)在所述纵向方向(x)上与所述横向槽(8B)相接。
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