[发明专利]机械臂及其静电检测方法有效
| 申请号： | 201610444276.8 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106142133B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 臧宇;林昶 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;B25J19/02;G01R29/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种机械臂及其静电检测方法；所述机械臂包括用于拾取玻璃基板的机械臂本体，还包括控制器以及与控制器电性连接的探测电极，所述探测电极设置于机械臂本体与所述玻璃基板接触的部位，且所述探测电极与机械臂本体之间用于产生一畸变电场，所述探测电极用于感应畸变电场的表面电位并输出信号至控制器，所述控制器根据信号判断机械臂本体上的静电力是否超出玻璃基板的承受范围。在对玻璃基板进行取放时，本发明通过在取放玻璃基板的机械臂本体上设置探测电极，可以获取机械臂本体与玻璃基板接触部位的表面电位，从而与探测电极电性连接的控制器可依据该表面电位判断玻璃基板的受力情况，这样可确保玻璃基板在取放过程中不会受到损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 及其 静电 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机械臂，包括用于拾取一玻璃基板的机械臂本体，其特征在于，还包括控制器以及与所述控制器电性连接的探测电极，所述探测电极设置于所述机械臂本体与所述玻璃基板接触的部位，且所述探测电极与所述机械臂本体之间用于产生一畸变电场，所述探测电极用于感应所述畸变电场的表面电位并输出一信号至所述控制器，所述控制器根据所述信号判断所述机械臂本体上的静电力是否超出所述玻璃基板的承受范围。
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