[发明专利]一种氧化铝抛光液的制备方法有效
| 申请号： | 201610445394.0 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106010297B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 汪为磊;刘卫丽;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;许亦琳 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铝抛光液的制备方法，包括如下步骤：1）将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液；2）在95~110℃加热和搅拌条件下，将水解液加入到氧化铝粉末中，保持边搅拌边加热，直至液体挥发完全获得改性氧化铝；3）将改性氧化铝研磨成粉末分散到水里，调节溶液pH为9.5~10.5即为氧化铝抛光液。使用本发明的氧化铝抛光液可达到pH=13.00时的抛光效率，同时抛光片较少有划痕出现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 抛光 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于蓝宝石晶体抛光的氧化铝抛光液的制备方法，包括如下步骤：1)将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液；2)在95～110℃加热和搅拌条件下，将水解液加入到氧化铝粉末中，保持边搅拌边加热，直至液体挥发完全获得改性氧化铝；3)将改性氧化铝研磨成粉末分散到水里，调节溶液pH为9.5～10.5即为氧化铝抛光液；步骤1)中，以水解液的总质量为基准计，所述的硅烷偶联剂为15～25wt％，所述乙醇为67～77wt％，所述水为3～13wt％；步骤2)中所述氧化铝粉末的质量为所述水解液质量的3～7％；步骤2)中所述氧化铝粉末的粒径为0.04～2μm；步骤2)中所述氧化铝为α‑氧化铝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610445394.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗静电硅胶保护膜
- 下一篇：一种双橡胶速凝喷涂防水涂料及其制备方法
