[发明专利]一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体有效
| 申请号： | 201610445779.7 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN105970291B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 裴智;李希炜;李欣;裴广波 | 申请（专利权）人： | 大连晶达德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 大连一通专利代理事务所(普通合伙)21233 | 代理人： | 王丽英 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体，发热体有24‑54根直径5‑10mm呈倒门字形的钨杆，其分为6组，每组4‑9根合为一束，两束钨杆又并列成一对钨杆束，每对钨杆束一端分别与相邻的两个单汇流排相连，另一端又与同一个双汇流排相连，所述3个双汇流排与6个单汇流排构成一个彼此不相连且在同一个平面上的环形结构，其内径大于电阻炉内坩埚外径，其外径小于炉内隔热保温体内径，在上述单、双汇流排上各设一根下端与其垂直相连的短柱即引出电极，它们与供电电源输出端相连。由于本发明可使炉内径向温场分布均匀，可直接生长C向蓝宝石单晶，使晶锭出材率由现在的不足40％提高到45‑50％，从而降低蓝宝石单晶的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供电 蓝宝石 生长 鸟笼 发热 | ||
【主权项】：
一种九点供电式蓝宝石单晶生长炉鸟笼式发热体，发热体有24‑54根直径5‑10mm呈倒门字形的钨杆，其特征在于：所述钨杆分为6组，每组4‑9根合为一束，两束钨杆又并列成一对钨杆束，每对钨杆束一端分别与相邻的两个单汇流排相连，另一端又与同一个双汇流排相连，所述3个双汇流排与6个单汇流排构成一个彼此不相连且在同一个平面上的环形结构，其内径大于电阻炉内坩埚外径，其外径小于炉内隔热保温体内径，在上述单、双汇流排上各设一根下端与其垂直相连的短柱即引出电极，它们与供电电源输出端相连，每对钨杆束的两端一端分别单独供电，另一端则合在一起供电，3对钨杆束形成9点供电模式，并独立调节每对钨杆束的供电功率。
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