[发明专利]清洗液组合物有效
| 申请号： | 201610448914.3 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106283097B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 许濬;郑玄铁 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/036 | 分类号： | C23G5/036;H01L21/02 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡晓红;柯夏荷 |
| 地址： | 韩国首尔市江南区奉恩*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及清洗液组合物，具体地，提供一种能够清洗在金属的化学机械平坦化工程等中产生的金属氧化物与金属研磨粒子的清洗液组合物。根据本发明提供的清洗液组合物，由于能够增强对金属研磨粒子的络合力，并能够维持还原力，因此能够改善清洗液的稳定性，对金属表面进行高防腐蚀力的清洗工程。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 组合 | ||
【主权项】：
1.一种清洗液组合物，其特征在于，100重量份的清洁剂组合物包含1至30重量份的下述化学式1所表示的化合物：[化学式1]![]()
在上述化学式中，X及Y各自独立表示具有非共用电子对的原子或官能团，R1及R2各自独立选自氢原子，羟基，羧基，及被取代或未被取代的、碳原子数为1至20的烷基，m及n各自独立为1至5的整数。
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