[发明专利]一种薄膜图案及形成方法、显示装置在审
| 申请号： | 201610452270.5 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106094426A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张斌;周婷婷;何晓龙;孙雪菲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜图案及形成方法、显示装置，涉及显示技术领域，该方法无需采用转印和刻蚀即可形成薄膜图案，工艺简单，生产成本低、时间短；还可避免因多次转印产生的误差，提高薄膜图案的精度。该形成方法包括：将具有薄膜层的衬底基板与具有图案的压印模板接触，薄膜层的材料的熔点/软化点小于衬底基板的衬底和压印模板的材料的熔点/软化点；在加热条件下，采用压印模板对薄膜层进行压印，加热温度能够使得薄膜层软化或变为液态、衬底基板的衬底和压印模板保持原有状态；对压印后的压印模板和薄膜层降温，使得液态的薄膜层固化形成薄膜图案；将压印模板和形成有薄膜图案的衬底基板分离。本发明适用于薄膜图案的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 图案 形成 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜图案的形成方法，其特征在于，所述方法包括：将具有薄膜层的衬底基板与具有图案的压印模板接触，其中，所述薄膜层的材料的熔点/软化点小于所述衬底基板的衬底和所述压印模板的材料的熔点/软化点；在加热条件下，采用所述压印模板对所述薄膜层进行压印，其中，加热温度能够使得所述薄膜层软化或变为液态、同时所述衬底基板的衬底和所述压印模板保持原有状态；对压印后的所述压印模板和所述薄膜层进行降温，以使得液态的所述薄膜层固化形成薄膜图案；将所述压印模板和形成有薄膜图案的所述衬底基板相分离。
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