[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、液晶显示面板在审
| 申请号： | 201610452291.7 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN105870202A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吕晓文 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 梁恺峥 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管及其制造方法、液晶显示面板，通过在掺杂图案与源极图案和漏极图案之间设置过渡图案，且该过渡图案分别包覆源极图案和漏极图案的侧壁，隔离有源图案与源极图案和漏极图案的侧壁的直接接触，从而能够降低TFT的漏电流；另外，该过渡图案邻近于有源图案的两侧被掺杂图案覆盖，能够降低有源图案与源极图案和漏极图案的接触阻抗，避免TFT充电不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 液晶显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括基板、间隔设置于所述基板上的源极图案和漏极图案、分别覆盖所述源极图案和所述漏极图案的第一掺杂图案和第二掺杂图案以及分别与所述第一掺杂图案和所述第二掺杂图案电性接触的有源图案，其中在所述源极图案与所述第一掺杂图案之间以及所述漏极图案与所述第二掺杂图案之间分别设置有第一过渡图案和第二过渡图案，所述第一过渡图案和所述第二过渡图案分别包覆所述源极图案和漏极图案的侧壁，进而隔离所述有源图案与所述源极图案和漏极图案的侧壁的直接接触。
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