[发明专利]B2F4制造方法有效

专利信息
申请号: 201610452337.5 申请日: 2012-10-09
公开(公告)号: CN105905916B 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 奥列格·比尔;爱德华·E·琼斯;奇兰吉菲·皮迪;约瑟夫·D·斯威尼 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: C01B35/06 分类号: C01B35/06
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 齐杨
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本申请提供一种B2F4制造方法。具体地,提供一种用于由固体反应物材料制备化合物或中间体的反应系统和方法。本发明形成B2F4的方法包括:(i)使BF3气体和含硼固体反应,以形成包含BF和未反应的BF3气体的第一气态混合物;(ii)在有效冷凝第一气态混合物的温度和压力条件下冷却第一气态混合物,以形成第一冷凝产物;(iii)使载气流过反应器并使第一冷凝产物挥发,以形成包含B2F4和BF3的第二气态混合物;(iv)过滤第二气态混合物,以除去颗粒;以及(v)回收来自第二气态混合物的B2F4
搜索关键词: sub 制造 方法
【主权项】:
1.一种形成B2F4的方法,包括:(i)使BF3气体和含硼固体反应,以形成包含BF和未反应的BF3气体的第一气态混合物;(ii)在有效冷凝所述第一气态混合物的温度和压力条件下冷却所述第一气态混合物,以形成第一冷凝产物;(iii)使载气流过反应器并使所述第一冷凝产物挥发,以形成包含B2F4和BF3的第二气态混合物;(iv)过滤所述第二气态混合物,以除去颗粒;以及(v)回收来自所述第二气态混合物的B2F4
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