[发明专利]镀敷设备、镀敷方法和转换用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿势的方法

摘要

一种镀敷设备，包括台，基板保持器放置在该台上，基板保持器能够可拆卸地保持基板；镀敷部，镀敷部中保持镀敷溶液，用于通过将基板在竖直面中浸没在该镀敷溶液中而对由基板保持器保持的基板进行镀敷；和基板保持器运送器，用于在该台和该镀敷部之间运送该基板保持器，基板保持器运送器包括用于保持基板保持器的保持部分；其中，该台具有水平移动机构，当水平移动机构支撑基板保持器的下端时，水平移动机构能够水平地移动；并且其中，基板保持器运送器包括上升下降机构，当基板保持器的下端被水平移动机构支撑时，随着水平移动机构水平移动，通过竖直移动该保持部分，上升下降机构用于将基板保持器的姿势从竖直状态转换为水平状态，或者从水平状态转换为竖直状态。

主权项

一种镀敷设备，其特征在于，包括：台，基板保持器水平地放置在所述台上，所述基板保持器能够可拆卸地保持基板；镀敷部，所述镀敷部中保持镀敷溶液，所述镀敷部用于通过将所述基板在竖直面中浸没在所述镀敷溶液中而对由所述基板保持器保持的所述基板进行镀敷；和基板保持器运送器，所述基板保持器运送器用于在所述台和所述镀敷部之间运送所述基板保持器，所述基板保持器运送器包括用于保持所述基板保持器的保持部分；其中，所述台具有水平移动机构，当所述水平移动机构支撑所述基板保持器的下端时，所述水平移动机构能够水平地移动；并且其中，所述基板保持器运送器包括上升下降机构，当所述基板保持器的下端被所述水平移动机构支撑时，随着所述水平移动机构水平移动，通过竖直移动所述保持部分，所述上升下降机构用于将所述基板保持器的姿势从竖直状态转换为水平状态，或者从水平状态转换为竖直状态。