[发明专利]一种步进相移光纤白光干涉测量方法有效
申请号: | 201610453057.6 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN106152934B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 江毅;高红春;姜澜;陈淑芬;张恒利 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人: | 唐华 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种步进相移光纤白光干涉测量方法,属于光纤传感技术领域。本发明的目的是为了解决微型传感器小光程差测量需求的问题,提供一种步进相移光纤白光干涉测量方法,该方法基于对一路白光干涉信号的相移处理来获得干涉仪的光程差,方法简单,测量动态范围可达50um‑10000um,在光程差较小(小于100um)时依然能够高精度测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 步进 相移 光纤 白光 干涉 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种步进相移光纤白光干涉测量方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一、干涉仪输出的白光光谱信号表达为
其中a(λ)为背景光即直流信号,b(λ)是干涉条纹的对比度,相位
其中l是干涉仪的光程差,π由第二端面反射引入;相位
其中k是波数,
与波数k成线性关系,按照等波数间隔重采样得到新的白光光谱I(k)=a(k)+b(k)cos(lk+π),相邻采样点间相位差相等;步骤二、通过去除直流分量和光源轮廓对白光光谱进行归一化处理,即将步骤一得到的白光光谱I(k)做归一化处理,获得归一化的白光光谱,表达式为:I(k)=cos(lk+π)步骤三、在步骤二所得的归一化的白光光谱上任意截取长度相等、相位差相等的五路信号,则In(k)=cos(lk+π),n=1,2,3,4,5;其中,n=1、2、3、4、5分别为1、2、3、4、5路信号;五路信号采样点数均为W,并且相邻两路信号之间具有相等的相位差δ,对应的采样点数为M,即1路信号从采样点N11,扫描到采样点N12,那么2路信号从采样点N11+M,扫描到N12+M,3路信号从N11+2M,扫描到N12+2M,4路信号从N11+3M,扫描到N12+3M,5路信号从N11+4M,扫描到N12+4M,实现信号1、2、3、4、5路在相位上相邻两路信号相差δ,因此五路信号的相位为![]()
五路信号为![]()
步骤四、用步骤三得到的五路信号I1、I2、I3、I4、I5来解调出波长扫描所引起干涉仪的相位变化;首先利用2、3、4路信号得到相位
与相邻两路相位差的一半δ/2的关系;
再利用1、3、5路信号得到相位
与相邻两路相位差δ的关系;
然后利用上述两个关系式得到相邻两路相位差的一半δ/2的正切值;
则得
最后取反正切,得相位信息
步骤五、步骤四所得的相位信息φ在
之间,需要进行相位解包裹运算,得到原始的相位
根据相位
与波数k之间的线性关系
微分关系
得出干涉仪的光程差
即得到待测物理量;其中k0为等波数采样的相邻两个采样点间的波数间隔。
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