[发明专利]新型多晶硅芯棒拉制方法在审
| 申请号： | 201610453071.6 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105970288A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 袁玉平;闫鹏;袁佳斌 | 申请（专利权）人： | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 丁骞 |
| 地址： | 214264 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型多晶硅芯棒拉制方法，它包括检查多晶硅料纯度指标和尺寸，掺杂剂纯度，然后选择晶向好且无机械损伤的籽晶装入清理过的炉膛中；将炉体内抽真空，通入氩气；将原料多晶硅装入炉体中形成硅填料，加热熔化形成硅熔体；使籽晶与所述硅熔体接触，进行两次拉晶。本发明控制精确，大大提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 多晶 硅芯棒 拉制 方法 | ||
【主权项】：
新型多晶硅芯棒拉制方法，其特征在于：它包括以下步骤，（1）检查多晶硅料纯度指标和尺寸，掺杂剂纯度，然后选择晶向好且无机械损伤的籽晶装入清理过的炉膛中；（2）将炉体内抽真空，通入氩气；（3）将原料多晶硅装入炉体中形成硅填料，加热熔化形成硅熔体；（4）使籽晶与所述硅熔体接触，在炉压 2200‑2500Pa ，炉温300‑320℃进行第一次拉晶，晶棒转速10转/分，晶棒头部拉速0.8mm/分，拉速从晶棒头部至晶棒中部降低25‑35%，然后匀速拉制至尾部；（5）将晶棒冷却到40‑60℃后，进行第二次拉晶，炉压 2200‑2500Pa ，炉温300‑320℃，晶棒转速12转/分，晶棒头部拉速1mm/分，拉速从晶棒头部至晶棒中部降低25‑35%，然后匀速拉制至尾部。
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