[发明专利]平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的工艺

摘要

本发明公开了平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的装置，属于平板玻璃和半导体硅片表面湿化学加工技术领域，该装置在工件的上、下均有设置，其包括端口、入风口、风道和出风口；端口的一端与空气压缩泵相连，在端口的另一端设有入风口，入风口与风道的一端相连，在风道的另一端设有出风口；出风口、风道和入风口相连通。本发明还公开了该装置的应用工艺。本发明能很好地将玻璃片等工件表面的液体去除，可提高蚀刻液等反应溶液的使用寿命；能减少高纯水的消耗，减少清洗污水的产生；出风温度与环境温度之差不大于5℃，即去除了玻璃片表面的化学液体，又不至于由于风温明显升高，干扰表面的化学反应，造成工艺控制的困难，影响制品的质量。

主权项

1.平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的工艺，其特征在于：工件每进行一次湿化学加工后就采用低风速吹扫残液的装置进行一次低风速吹扫，包括如下步骤：1)工件进行前端清洗后进入下一步骤2)；2)工件前端清洗后，先进行低风速吹扫，然后在输送轮的输送下进行一次湿化学加工，结束后进行低风速吹扫，然后在输送轮的输送下再次进行一次湿化学加工，结束后进行低风速吹扫；低风速吹扫是出风口(45)的风速≤8m/s；3)后段清洗，风刀干燥；该低风速吹扫残液的装置在工件的上、下均有设置，其包括端口(41)、入风口(42)、风道(43)和出风口(45)；所述的端口(41)的一端与空气压缩泵相连，在端口(41)的另一端设有入风口(42)，入风口(42)与风道(43)的一端相连，在风道(43)的另一端设有出风口(45)；所述的出风口(45)、风道(43)和入风口(42)相连通。