[发明专利]一种TFT阵列基板及其制作方法、液晶显示装置在审
| 申请号： | 201610457788.8 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN105895638A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 吕晓文 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种TFT阵列基板及其制作方法、液晶显示装置，该TFT阵列基板包括基板以及设置于基板上的TFT；TFT包括半导体层以及设置于半导体层上的源极和漏极，其中，半导体层与源极和/或漏极的接触面呈凹凸结构。通过上述方式，本发明能够减小半导体层和金属层之间的接触电阻，提高TFT器件的电学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft 阵列 及其 制作方法 液晶 显示装置 | ||
【主权项】：
一种TFT阵列基板，其特征在于，所述TFT阵列基板包括基板以及设置于所述基板上的TFT；所述TFT包括半导体层以及设置于所述半导体层上的源极和漏极，其中，所述半导体层与所述源极和/或所述漏极的接触面呈凹凸结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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