[发明专利]一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵

摘要

本发明涉及一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵，属流体驱动控制领域。腔体端部安装的隔膜和泵盖构成泵腔，施力件圆盘和挡板压接在隔膜两侧，施力件导杆端部装有连接块，连接块上装有压电振子，压电振子两端固定在左右壁板上；压电振子安装前为平直结构且长度大于左右壁板间距，安装后变成弯曲结构且压电晶片半径小于基板半径，晶片承受压应力；连接块左侧驱动单元I和右侧驱动单元II间的电压相位相反，两个驱动单元中压电振子的缩短量和伸长量相互制约。特色与优势通过安装方法构造伸缩式压电驱动器，制作方法及工艺简单、成本低；压电片仅受压应力、且两驱动单元变形量相互制约，可靠性高；易通过增加压电振子数量和长度提高泵的流量和压力。

主权项

一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵，其特征在于：泵体上设有左右壁板，左壁板上设有相互连通的导向孔和腔体，腔体侧壁端部经螺钉安装有隔膜和泵盖，泵盖上设有进出口阀，隔膜和泵盖构成泵腔；施力件圆盘和挡板经螺母和施力件导杆上的螺纹压接在隔膜两侧；隔膜为0.2mm和0.1mm厚时，施力件圆盘直径分别为D1＝(0.55～0.75)D2和D1＝(0.7～0.9)D2，式中D2为泵腔直径；导杆经导向孔伸出，导杆的伸出端端部经螺母固定有连接块，连接块上经压块和螺钉安装有两组压电振子，压电振子两端经压块和螺钉分别固定在左右壁板上，压电振子由金属基板和压电晶片粘接而成；压电振子安装前为平直结构、且其长度大于左右壁板间的距离，压电振子安装后变成弯曲结构、且压电晶片曲率半径小于金属基板曲率半径，压电晶片承受压应力、金属基板承受拉应力；压电振子上处于连接块左侧的部分构成驱动单元I、右侧部分构成驱动单元II，驱动单元I和II的驱动电压相位差为180度；压电振子在一个驱动单元中伸长量达最大时在另一个驱动单元中缩短量达到最大，缩短量和伸长量相互制约。