[发明专利]微小空间内表面放电清洗方法和装置有效
| 申请号： | 201610459829.7 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105903724B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陆镝莱;陆治国 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及微小空间内表面放电清洗方法和装置，包括强场空间容器和真空系统，真空系统包括用于抽真空的抽气装置和用于充入清洗气体的充气装置；抽气装置和充气装置均连接若干个待清洗工件内部的微小空间；待清洗工件置于强场空间容器内；强场空间容器连接用于在其内部空腔内产生电磁场的辐射源。本发明先将待清洗的微小空间内部抽真空，然后向该微小空间内充入清洗气体，将该微小空间处于特高频电磁波的辐射场中，通过辐射源产生的电磁场与清洗气体进行配合，能够使清洗气体直接在待清洗工件内的微小空间内放电并产生等离子体，从而完成对微小空间内部的清洗，除去工件微小空间内的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 空间 表面 放电 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：包括强场空间容器和真空系统(3)，真空系统(3)包括用于抽真空的抽气装置和用于充入清洗气体的充气装置；抽气装置和充气装置均连接待清洗工件(2)内部的微小空间(7)，待清洗工件(2)有若干个；待清洗工件(2)置于强场空间容器内；强场空间容器连接用于在其内部空腔内产生电磁场(6)的辐射源。
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