[发明专利]光学共振腔的腔长量测装置有效
| 申请号： | 201610461302.8 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106767473B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 陈生瑞 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;林媛媛 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学共振腔的腔长量测装置，包括频率可调光源、分光镜、频率调制器以及光学共振腔。所述频率可调光源用以发出一光束。所述分光镜位于所述光束的光路上，并将所述光束分为第一光束与第二光束。所述频率调制器位于所述第二光束的主光路上，其中所述第二光束的频率经由所述频率调制器调制后与所述第一光束的频率之间具有一拍频。光学共振腔位于第一光束的主光路上与频率调制后的第二光束的主光路上，其中第一光束及频率调制后的第二光束入射至光学共振腔中，以供量测光学共振腔的腔长，且光学共振腔的腔长变化量由拍频测得。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 共振 腔长量测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学共振腔的腔长测量装置，其特征在于，包括：频率可调光源，用以发出一光束；分光镜，位于所述光束的光路上，并将所述光束分为一第一光束与一第二光束；频率调制器，位于所述第二光束的主光路上，其中所述第二光束的频率经由所述频率调制器调制后与所述第一光束的频率之间具有一拍频；光学共振腔，位于所述第一光束的主光路上与频率调制后的所述第二光束的主光路上，其中所述第一光束及频率调制后的所述第二光束入射至所述光学共振腔中，以供测量所述光学共振腔的腔长，且所述光学共振腔的腔长变化量由所述拍频测得；第一稳频电路，循环连接所述频率可调光源与所述第一光束的主光路之间，用以锁定所述第一光束的频率在所述光学共振腔的第一谐振频率上；以及第二稳频电路，循环连接所述频率调制器与所述第二光束的主光路之间，用以锁定所述第二光束的频率在所述光学共振腔的第二谐振频率上。
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