[发明专利]一种液相生长碳化硅籽晶轴装置

摘要

本发明公开了一种液相生长碳化硅籽晶轴装置，属于新材料制造领域。其包括顺次可拆卸连接的运动连接部、阻热部和石墨台，所述石墨台的另一端连接有籽晶，所述的阻热部为热导率小于石墨热导率且不与硅蒸汽发生反应的阻热材料，所述的籽晶可以为方形、圆形或多边形等，所述的石墨台的形状与所述籽晶的形状相同，且尺寸不小于籽晶尺寸，所述的阻热部径向尺寸不小于运动连接部和石墨台的径向尺寸，或所述的阻热部径向尺寸不大于运动连接部和石墨台的径向尺寸，所述阻热部的两端为内螺纹结构，与所述阻热部连接的运动连接部和石墨台为外螺纹结构，或所述阻热部的两端为外螺纹结构，与所述阻热部连接的运动连接部和石墨台为内螺纹结构。

主权项

1.一种液相生长碳化硅籽晶轴装置，其特征在于：包括顺次可拆卸连接的运动连接部(1)、阻热部(2)和石墨台(3)，所述石墨台的另一端连接有籽晶(4)；所述阻热部(2)的两端为内螺纹结构，与所述阻热部(2)连接的运动连接部(1)和石墨台(3)为外螺纹结构；或者所述阻热部(2)的两端为外螺纹结构，与所述阻热部(2)连接的运动连接部(1)和石墨台(3)为内螺纹结构。