[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

公开了有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法，其中有机层沉积设备包括沉积单元，沉积单元包括与衬底间隔预定距离的一个或者多个沉积组件以将沉积材料沉积在衬底上；其中该一个或者多个沉积组件包括沉积源、沉积源喷嘴单元、包括第一图案化单元和第一重叠单元的第一图案板以及包括第二图案化单元和第二重叠单元的第二图案板，其中第一图案板和第二图案板布置为使得第一重叠单元与第二重叠单元彼此重叠。

主权项

有机层沉积设备，包括沉积单元，所述沉积单元包括一个或者多个沉积组件，所述一个或者多个沉积组件与衬底间隔预定距离以将沉积材料沉积在所述衬底上；其中，所述一个或者多个沉积组件包括：沉积源，喷射所述沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于所述沉积源上，以及所述沉积源喷嘴单元中设置有沉积源喷嘴；第一图案板，设置为面对所述沉积源喷嘴单元以及包括第一图案化单元和第一重叠单元，所述第一图案化单元限定供所述沉积材料穿过的第一图案化缝隙，以及所述第一重叠单元连接至所述第一图案化单元以及限定供所述沉积材料穿过的第一重叠图案化缝隙；以及第二图案板，设置为面对所述沉积源喷嘴单元以及包括第二图案化单元和第二重叠单元，所述第二图案化单元限定供所述沉积材料穿过的第二图案化缝隙，以及所述第二重叠单元连接至所述第二图案化单元以及限定供所述沉积材料穿过的第二重叠图案化缝隙；以及其中，所述第一图案板和所述第二图案板布置为使得所述第一重叠单元与所述第二重叠单元彼此重叠。