[发明专利]有机层沉积装置、有机发光显示装置和显示装置制造方法有效
| 申请号： | 201610463200.X | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106435477B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李秀奂;金茂显;李东规;金恩镐 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了有机层沉积装置、有机发光显示装置和显示装置制造方法。根据一个实施方式的有机层沉积装置，包括沉积单元，该沉积单元包括与基板间隔开的至少一个沉积组件，至少一个沉积组件将材料沉积在基板上，至少一个沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，安装在沉积源上，沉积源喷嘴单元具有形成在其中的沉积源喷嘴；以及多个图案片，面对沉积源喷嘴单元并且彼此间隔开，以使得沉积材料经由多个图案片沉积在基板的多个不同区域上。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 沉积 装置 发光 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种有机层沉积装置，包括：沉积单元，包括与基板间隔开的至少一个沉积组件，所述至少一个沉积组件将材料沉积在所述基板上，所述至少一个沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，安装在所述沉积源上，所述沉积源喷嘴单元具有形成在其中的沉积源喷嘴；以及多个图案片，面对所述沉积源喷嘴单元并且彼此间隔开，以使得所述沉积材料经由所述多个图案片沉积在所述基板的多个不同区域上。
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