[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201610463385.4 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106441259B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 木暮翔太;田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具备：可动电极侧固定部；以沿着第一方向的方式而配置的第一固定电极侧固定部以及第二固定电极侧固定部，其中，所述第一固定电极侧固定部具有第一固定电极部，所述第二固定电极侧固定部具有第二固定电极部；可动质量部，其具有第一可动电极部以及第二可动电极部，并且在俯视观察时呈包围所述可动电极侧固定部、所述第一固定电极侧固定部以及所述第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与所述第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与所述第二固定电极部对置的部分；弹性部，其以能够使所述可动质量部在所述第一方向上进行位移的方式而对所述可动电极侧固定部与所述可动质量部进行连接。
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