[发明专利]干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法有效
| 申请号： | 201610463671.0 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106338380B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 武东城;高松涛;苏东奇;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法，包括：将用于配合检测的面状光学元件放置于干涉仪系统的待测台上；调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态；通过干涉仪系统的成像部相应地分别成像形成多个面形图，每个面形图中包括的干涉条纹的数量不同；以及至少计算其中两个面形图之间的残差得到第一残差以及计算其中另外两个之间的残差而得到第二残差，还至少根据第一残差以及第二残差之间的区别大小程度来判断干涉仪系统的包括传递函数和整体光学性能在内的优劣。本发明还提供一种干涉仪系统。本发明提供的干涉仪系统及检测方法，可通过简单且较准确的方式检测干涉仪传递函数及性能的优劣。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 系统 传递函数 性能 优劣 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种干涉仪系统，其特征在于，所述干涉仪系统包括：激光器，用于发射检测光；待测台，用于放置面状光学元件；分光部，用于将激光器发射的检测光传输至位于待测台上的面状光学元件的表面，所述分光部还用于将所述面状光学元件反射回来的光线反射至成像部；所述成像部，用于对面状光学元件的表面进行成像而形成所述面状光学元件的面形图；以及处理器；其中，通过调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态，成像部相应地至少分别成像形成多个面形图，每一个所述多个面形图包含的干涉条纹的数量不同；所述处理器用于至少计算其中两个面形图之间的残差得到第一残差以及计算其中另外两个面形图之间的残差而得到第二残差，处理器还至少根据第一残差以及第二残差之间的区别大小程度来判断干涉仪系统的包括传递函数和整体光学性能在内的优劣。
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