[发明专利]一种具有高导电性能的医用干式电极及其制造方法

摘要

一种具有高导电性能的医用干式电极及其制造方法，涉及一种生物医用电极。医用干式电极设有电极芯、石墨烯层、导电银胶、屏蔽导线、聚二甲基硅氧烷密封层；电极芯表面具有微结构阵列，电极芯外层表面沉积石墨烯层，电极芯背面设有盲孔，盲孔内通过填充导电银胶实现屏蔽导线与电极芯的连接，盲孔外涂覆聚二甲基硅氧烷密封层。制造方法：在电极芯表面铣削出微结构阵列，背面加工出盲孔；对电极芯依次放置在盐酸、丙酮、无水乙醇、去离子水中进行清洗，用氮气风干；在电极芯微结构表面沉积单层石墨烯；将屏蔽导线放置在盲孔内，填涂导电银胶，干燥固化；在电极芯的背面涂覆聚二甲基硅氧烷密封层，干燥固化后即得具有高导电性能的医用干式电极。

主权项

1.一种具有高导电性能的医用干式电极的制造方法，其特征在于采用具有高导电性能的医用干式电极，所述具有高导电性能的医用干式电极设有电极芯、石墨烯层、导电银胶、屏蔽导线、聚二甲基硅氧烷密封层；所述电极芯表面具有微结构阵列，电极芯外层表面沉积石墨烯层，电极芯背面设有盲孔，盲孔内通过填充导电银胶实现屏蔽导线与电极芯的连接，盲孔外涂覆聚二甲基硅氧烷密封层；所述电极芯采用铜电极芯、镍电极芯、镀铜电极芯或镀镍电极芯；所述制造方法包括以下步骤：1)在电极芯表面铣削出微结构阵列，背面加工出盲孔；2)对电极芯依次放置在盐酸、丙酮、无水乙醇、去离子水中进行清洗，用氮气风干；3)利用气相沉积法，在电极芯微结构表面沉积单层石墨烯；所述在电极芯微结构表面沉积单层石墨烯的具体方法为：将电极芯放在管式炉的温区中心，当管式炉真空至5.0×10^‑1帕后，把氢气引入到生长室，总压强在13～18Pa，腔室被加热至并保持在1050℃，维持一段时间去除残留的氧化物，再引入甲烷气体，总压强在28～32Pa，温度保持在1050℃生长30～60min，停止通入甲烷，继续通入氢气，然后冷却至室温；所述氢气体积流量为10sccm，甲烷体积流量为10sccm；4)将屏蔽导线放置在盲孔内，填涂导电银胶，干燥固化；5)在电极芯的背面涂覆聚二甲基硅氧烷密封层，干燥固化后即得具有高导电性能的医用干式电极。