[发明专利]一种周期极化LNOI脊型波导及其制备方法有效
| 申请号： | 201610464736.3 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106094263B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;陈朝夕 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周期极化LNOI脊型波导，整体结构从基底自下而上包括：硅或铌酸锂基底(5)、二氧化硅缓冲层(4)、金电极层(3)、半导体有机高分子层(2)和周期极化铌酸锂脊型波导(6)。与现有技术相比，本发明的技术效果包括：1)很大程度上降低了生产难度，提高了成品率；2)显著降低了波导的传输损耗；3)使多功能光电子器件的集成更容易实现；4)使器件获得更多的非线性效应；5)实现了PP‑LNOI波导和频、差频功能；6)为进一步设计和制作实用化的频率变换器件奠定基础，推动基于LNOI平台的集成光路和器件向实用化方向迈进，为下一代光电混合集成芯片的研发提供支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期 极化 lnoi 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种周期极化LNOI脊型波导，其特征在于，整体结构从基底自下而上包括：硅或铌酸锂基底(5)、二氧化硅缓冲层(4)、金电极层(3)、半导体有机高分子层(2)和周期极化铌酸锂脊型波导(6)。
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