[发明专利]一种以胶膜为媒介转移石墨烯的方法有效

专利信息
申请号: 201610464811.6 申请日: 2016-06-23
公开(公告)号: CN106145098B 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 王小蓓;王炜;谭化兵 申请(专利权)人: 无锡格菲电子薄膜科技有限公司
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 代理人: 肖淑芳
地址: 214174 江苏省无锡市无锡惠山*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种以胶膜为媒介转移石墨烯的方法,1)将胶膜与生长有石墨烯的金属衬底的石墨烯一面贴合在一起,形成胶膜/石墨烯/金属衬底;2)去除金属衬底,得到胶膜/石墨烯的结构;3)将胶膜/石墨烯其中石墨烯的一面与目标基底贴合在一起;4)去除胶膜,得到石墨烯/目标基底的结构。本发明采用胶膜将石墨烯转移到目标基底上,通过调整胶膜的厚度以及剥离力等参数,可以获得方阻可控的单层石墨烯。
搜索关键词: 一种 胶膜 媒介 转移 石墨 方法
【主权项】:
1.一种以胶膜为媒介转移石墨烯的方法,其特征在于:包括如下步骤:1)将胶膜与生长有石墨烯的金属衬底的石墨烯一面贴合在一起,形成胶膜/石墨烯/金属衬底;2)去除金属衬底,得到胶膜/石墨烯的结构;3)将胶膜/石墨烯其中石墨烯的一面与目标基底贴合在一起;4)去除胶膜,得到石墨烯/目标基底的结构;所述胶膜为基膜加胶的复合膜,所述胶膜的胶的厚度为2‑50μm,胶膜的剥离力为1‑50g/25mm;所述步骤3)中,采用100℃下30S内快速辊压的方法进行贴合处理;所述步骤4)中,去除胶膜的方法采用用手直接揭除。
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