[发明专利]一种基于IGBT用区熔8英寸硅单晶的新生产方法在审

专利信息
申请号: 201610467354.6 申请日: 2016-06-24
公开(公告)号: CN106011997A 公开(公告)日: 2016-10-12
发明(设计)人: 杨凯;高辉 申请(专利权)人: 北京天能运通晶体技术有限公司
主分类号: C30B13/16 分类号: C30B13/16;C30B13/28;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 现今社会随着各种工业的快速发展,能源和电力系统的应用、信息业的发展、微电子技术、微波电子技术、光电子技术、电力电子技术、传感技术等各方都在应用半导体材料;并且随着我国一批国家重点大型和超大型水利、火力发电工程、地铁、轻轨、铁路工程的陆续开工和新兴IGBT产业的兴起对于——区熔硅单晶尤其是大直径区熔8英寸单晶的生产产能不足、工艺相对缺乏的问题更将凸现出来。8英寸区熔硅单晶生产目前主要以手动操作控制单晶生长为基础,本文围绕稳定8英寸区熔硅单晶生长过程中单晶形状问题的生产工艺,从手动生产加功率的方法、功率输出的稳定性、单晶生长的角度等着重说明这一种基于IGBT用区熔8英寸硅单晶的生产方法。
搜索关键词: 一种 基于 igbt 用区熔 英寸 硅单晶 生产 方法
【主权项】:
一种基于IGBT用区熔8英寸硅单晶的新生产方法,其目的在于能够提高8英寸硅单晶的拉制方法,降低生产的损耗。
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