[发明专利]位置改变测量装置和图像形成设备

摘要

本发明的目的在于获得一种位置改变测量装置、位置改变测量方法和图像形成设备，该位置改变测量装置通过使用光斑图案来测量动态测量表面的位置改变，同时容易减少测量环境温度的波动的影响。位置改变测量装置包括：光源；照明光学系统，该照明光学系统被配置成将来自光源的光引导到被测量表面；成像光学系统；图像拾取装置，该图像拾取装置被配置成通过经由成像光学系统接收来自被测量表面的反射光来获得光斑图案；和检测长度补偿部件，该检测长度补偿部件用于补偿由温度波动所引起的检测长度的波动。基于对以预定时间间隔获得的多个光斑图案所进行的互相关计算的结果来测量测量表面的位置改变。

主权项

1.一种位置改变测量装置，其特征在于，包含：光源；照明光学系统，所述照明光学系统被配置成将来自所述光源的光引导到被测量表面；成像光学系统；和图像拾取装置，所述图像拾取装置被配置成通过经由所述成像光学系统接收来自所述被测量表面的反射光，来获得光斑图案，其中基于对以预定时间间隔获得的多个光斑图案进行的互相关计算的结果，来测量所述被测量表面的位置改变，所述成像光学系统从被测量表面一侧开始包括正光焦度的第一组、孔径光阑和正光焦度的第二组，所述孔径光阑被设置在所述第一组的像侧焦平面和所述第二组的物侧焦平面的位置处，所述图像拾取装置的光接收表面被放置在由所述成像光学系统形成的所述被测量表面的高斯平面处，并且所述位置改变测量装置满足：条件(1)    D/Db≒0，其中，Db为所述被测量表面的沸腾平面与由所述成像光学系统形成的所述被测量表面的所述高斯平面之间的距离，并且D为所述高斯平面与所述图像拾取装置的所述光接收表面之间的间隔。