[发明专利]多晶硅铸锭半融工艺产生的循环尾料清洗处理方法

摘要

多晶硅铸锭半融工艺产生的循环尾料清洗处理方法，涉及太阳能硅料洗料技术，包括如下步骤：a将尾料表面粘覆杂质用压缩空气去除干净；b用清洗液浸泡;将氢氟酸、双氧水、纯水调配成清洗液；c尾料空隙内杂质清洗去除后用纯水将表面粘覆物冲洗掉；d混酸液清洗处理硝酸与电子级氢氟酸调配成混酸液，酸洗后用纯水漂洗；e超声清洗，清洗去除表面以及硅料空隙中的脏污、酸液残留得到干净的尾料。本发明的有益效果：是通过不同酸液的调配经过多次的清洗，把铸锭半融工艺循环尾料空隙内在线切割工序产生的切割废液、杂质去除彻底，提高半融尾料的品质等级降低铸锭生产成本，使循环料可投炉量增加起到降本增效的目的。

主权项

多晶硅铸锭半融工艺产生的循环尾料清洗处理方法，其特征在于包括如下步骤：a将喷砂处理好的多晶硅循环尾料表面粘覆杂质,用压缩空气去除干净,放入清洗设备内；b用清洗液浸泡3－5小时去除尾料空隙内的线切割废液、金属杂质，清洗液调配工业级浓度为40－42%的氢氟酸、EL级浓度为35%的双氧水、纯水按体积比1:3－5:40调配成清洗液；c尾料空隙内杂质清洗去除后，用纯水将表面粘覆物冲洗掉；d混酸液清洗处理，选择EL级浓度为68－70%的硝酸：EL级浓度为42%的氢氟酸按体积比8－10:1调配成混酸液，酸洗时间120－150秒，然后用纯水漂洗，去除硅料表面氧化层、脏污、金属离子等杂质；e超声清洗利用25－28KHz高频电能发生器功率4.5KW通过换能器转换成高频机械振荡而转入到清洗液中，清洗30分钟去除表面以及硅料空隙中的脏污、酸液残留得到干净的尾料。