[发明专利]检测掩膜板质量的方法

摘要

本发明公开了一种检测掩膜板质量的方法，包含如下步骤：步骤1，产生一组测量图形，所述测量图形包括至少两个图形：一个把铬全部去除，露出衬底玻璃基板的图形；以及一个按最小设计规则1:1的铬全部去除，露出衬底玻璃基板的图形；步骤2，以所述测量图形产生一块标准掩膜板，该标准掩膜板包含的测量图形均匀分布在掩膜板曝光范围内；步骤3，使用实际生产用聚焦光束对标准掩膜板的测量图形进行照射，测量其透过率并进行AIMS系统测试确定其在标准CD下的阈值；步骤4，将所述测量图形放置到实际掩膜板中，出厂时对透过率和标准CD下AIMS系统测量的阈值，进行检测并将其和步骤3获得的值进行对比。

主权项

一种检测掩膜板质量的方法，其特征在于：包含如下步骤：步骤1，产生一组测量图形，所述测量图形包括至少两个图形：一个把铬全部去除，露出衬底玻璃基板的图形，称之为全开图形；以及一个按最小设计规则1:1的铬部分去除，露出衬底玻璃基板的图形，称之为1:1图形；步骤2，以所述测量图形产生一块标准掩膜板，该标准掩膜板包含的测量图形均匀分布在掩膜板曝光范围内；步骤3，使用实际生产用聚焦光束对标准掩膜板上的测量图形进行照射，测量其透过率并进行AIMS系统测试确定其在标准CD下的阈值；步骤4，将所述测量图形放置到实际掩膜板中，出厂时对透过率和标准CD下AIMS系统测量的阈值，进行检测并将其和步骤3获得的值进行对比。