[发明专利]成膜装置及数据制作方法

摘要

本发明提供一种能高精度且稳定地执行所期望的膜色的成膜处理的技术的成膜装置及数据制作方法。在成膜装置中，确定部基于从输入部输入的颜色信息，参照对应数据来确定成膜条件。另外，成膜条件中至少包含气体供应量作为膜色调整要素。已知一般来说，成膜处理时所供应的气体的种类或其供应量是主要的膜色调整要素。因此，本实施方式与根据成膜装置的操作者的直觉或经验来调整成膜条件的实施方式相比，能高精度且稳定地执行所期望的膜色的成膜处理。

主权项

1.一种成膜装置，其是在基材表面形成膜的成膜装置，其特征在于包括：处理室，其内部具有处理空间；基材保持部，在所述处理室内保持所述基材；气体供应部，将气体供应至所述处理空间；排气部，排出所述处理室内的气体；成膜处理部，在保持于所述基材保持部的所述基材的所述表面执行成膜处理；输入部，输入所形成的所述膜的颜色信息；存储部，针对多种颜色，存储有使颜色信息与用以形成所述颜色的膜的成膜条件相对应而成的对应数据；以及确定部，基于从所述输入部输入的所述颜色信息，参照所述对应数据来确定所述成膜条件，且所述成膜条件中至少包含气体供应量作为膜色调整要素。