[发明专利]原子层沉积涂层用于保护钎焊线不被腐蚀、侵蚀和击穿在审
| 申请号： | 201610472003.4 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106270863A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 许临;约翰·多尔蒂;石洪;宋一伟;萨蒂什·斯里尼瓦桑 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠,张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及原子层沉积涂层用于保护钎焊线路不被腐蚀、侵蚀和击穿。根据本公开，提供了几个发明，包括用于钎焊至少两个铝或铝合金部件并提供阳极氧化涂层以及用于增加耐等离子体腐蚀性的原子层沉积涂层的装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 沉积 涂层 用于 保护 钎焊 线不被 腐蚀 侵蚀 击穿 | ||
【主权项】：
一种用于制造等离子体室部件的方法，其包括：提供由铝或铝合金制成的第一部件和第二部件；使用铝和硅的混合物钎焊所述第一部件和第二部件，以形成钎焊界面；阳极氧化所述第一部件和第二部件的至少一部分，使得在所述钎焊界面上形成阳极氧化涂层；以及使用原子层沉积共形地涂覆所述阳极氧化涂层，以形成ALD涂层。
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