[发明专利]一种金刚石线切割液、其制备方法及使用方法在审
申请号: | 201610472167.7 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN106118840A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 叶俊;邓舜;郭海江 | 申请(专利权)人: | 上海汉遥新材料科技有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10M169/04;C10N30/04;C10N30/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 丁清鹏 |
地址: | 201512 上海市金山区金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种金刚石线切割液、其制备方法及使用方法,采用反式嵌段聚醚、氨基聚醚及聚多元醇为原料,增强了切割液的消泡能力、分散能力和清洗能力,避免了硅粉团聚或沉积引起的管道堵塞以及切割液残留引起的后道工序制绒白斑白点等缺陷,同时由于切割液主要由聚醚组成,在较低浓度下就具备优良的润滑、冷却和消泡性能,大大降低了切割废液中的COD排放,同时由于不含有机硅消泡剂,使得切割废液更易处理。本发明适用于金刚石线切割时使用,尤其是切割太阳能晶体硅片。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 切割 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石线切割液,其特征在于它包括以下重量百分比的原料:反式嵌段聚醚20~40%、氨基聚醚20~40%、聚多元醇1~10%、有机酸1~5%、水余量。
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