[发明专利]一种辉光放电质谱法检测金属中痕量杂质元素含量的方法在审
| 申请号： | 201610472665.1 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106198712A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 白杉;王爽;徐平;朱雷;朱哲;周渊名;刘波;赫涛 | 申请（专利权）人： | 锦州市国家光伏材料质量监督检验中心 |
| 主分类号： | G01N27/68 | 分类号： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 邓猛烈;潘登 |
| 地址： | 121000 辽宁省锦*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种辉光放电质谱法检测金属中痕量杂质元素含量的方法。该方法包括以下步骤：(1)将金属样品加工成片状或针状，置于硝酸溶液中进行超声清洗，烘干；(2)将辉光放电质谱仪的样品仓抽真空，打开球阀，将金属样品推入离子源腔内，打开高压和辉光，通入工作气体，调节放电电压和放电电流，通过离子源调谐将分辨率调到3000～4800，基体峰强度为0.05～0.25V，预溅射30～80min；(3)选择金属基体和需测定的杂质元素，进行直流辉光放电质谱分析，得到金属痕量杂质元素的浓度。本发明无需研磨以及抛光按规格切割好的样品，只需清洗样品，预处理简单，能有效避免污染；固体直接进样，操作简单易行；对离子源进行有效调谐，灵敏度高，检测限低，分辨率高，可一次性分析主含量元素至ppt级的元素。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辉光 放电 质谱法 检测 金属 痕量 杂质 元素 含量 方法 | ||
【主权项】：
一种辉光放电质谱法检测金属中痕量杂质元素含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将金属样品加工成片状或针状，置于硝酸溶液中进行超声清洗，烘干；(2)将辉光放电质谱仪的样品仓抽真空，打开球阀，将烘干后的金属样品推入离子源腔内，打开高压和辉光，通入工作气体，调节放电电压和放电电流，通过离子源调谐将分辨率调到3000～4800，基体峰强度为0.05～0.25V，预溅射30～80min；(3)选择金属基体和需测定的杂质元素，进行直流辉光放电质谱分析，得到金属痕量杂质元素的浓度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于锦州市国家光伏材料质量监督检验中心，未经锦州市国家光伏材料质量监督检验中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610472665.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
