[发明专利]单锚点支撑式双轴硅微谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201610473126.X | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105911309B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李宏生;高阳;黄丽斌 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 曾教伟 |
| 地址： | 210009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单锚点支撑式双轴硅微谐振式加速度计，包括下层玻璃基底、引线层、键合层和上层硅结构层，底层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，在玻璃基底和引线层上设有键合层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；整个上层硅结构层的可动结构由唯一的锚点支撑；上层硅结构层包括固定支撑框架和四个上层硅微机械子结构，上层硅微机械子结构按逆时针方向依次排列；其中，第一和第三、第二和第四上层硅微机械子结构分别形成一组加速度测量模块。本发明不仅可以有效抑制基底材料和硅材料的材料属性不匹配所带来的影响，而且可以消除键合时产生的残余应力以及环境变化时的热应力以及实现两正交方向之间的解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 单锚点 支撑 式双轴硅微 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种单锚点支撑式双轴硅微谐振式加速度计，其特征在于：包括下层玻璃基底、引线层、键合层和上层硅结构层，底层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，在玻璃基底和引线层上设有键合层，通过键合层把上层硅结构层悬置于玻璃基底之上；整个上层硅结构层由唯一的锚点支撑；上层硅结构层包括固定支撑框架和可动结构两部分，其中可动结构包括四个上层硅微机械子结构，四个上层硅微机械子结构分别为第一、第二、第三、第四上层硅微机械子结构，第一、第二、第三、第四上层硅微机械子结构按逆时针方向依次排列；其中，第一、第三上层硅微机械子结构形成的差分结构构成第一组加速度测量模块，第二、第四上层硅微机械子结构形成的差分结构构成第二组加速度测量模块，且所述第一组加速度测量模块测量的加速度与第二组加速度测量模块测量的加速度相互垂直。
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