[发明专利]基板检测设备及基板检测方法有效
| 申请号： | 201610473344.3 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105973899B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 郭建龙;钟立华 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板检测设备及基板检测方法。上述基板检测设备包括：承载机构，用以承载基板；检测单元，位于承载机构的一侧，检测单元用以对基板进行损伤检测；以及损伤放大单元，包括用以向基板施加压力、以使基板的损伤放大的压力施加装置，压力施加装置悬设于承载机构的上方。上述基板检测设备中，可采用损伤放大单元的压力施加装置向承载机构承载的基板施加压力，能够使基板的损伤放大，这样再采用检测单元对基板进行检测时，能够将损伤放大了的基板检测出来，从而提高了整个基板检测设备的检测精确度。此外，还涉及一种采用上述基板检测设备对基板进行检测的基板检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测设备，用于对显示装置的基板进行检测，其特征在于，所述基板检测设备包括：承载机构，用以承载基板；检测单元，位于所述承载机构的一侧，所述检测单元用以对所述基板进行损伤检测；以及损伤放大单元，包括用以向所述基板施加压力、以使基板的损伤放大的压力施加装置，所述压力施加装置悬设于所述承载机构的上方。
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