[发明专利]一种分压漏率测量装置及方法有效
| 申请号： | 201610473484.0 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106017819B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;张罗莎;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量装置及真空密封件分压漏率测量方法，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、抽气泵组(12)、截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)。该方法包括：(1)测量氦气本底离子流IO和本底气体组分分压Pi，bg；(2)测量标准漏孔氦气离子流Is；(3)测量真空密封件氦气离子流IL和漏气组分分压Pi，L；(4)计算真空密封件分压漏率Qi，L和总漏率QL。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分压漏率 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分压漏率测量装置，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率，该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、第一截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、抽气泵组(12)、第二截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)，其中，第一真空规(1)和质谱计(2)分别与真空室(5)直接相连，标准漏孔(3)通过第一截止阀(4)与真空室(5)相连，抽气泵组(9)通过插板阀(6)或通过角阀(7)、限流小孔(8)与真空室(5)相连通，真空室(5)内放置真空密封件(15)，真空密封件(15)通过电磁阀(11)与抽气泵组(12)连接、通过第二截止阀(13)与气瓶(14)连接，第二真空规(10)连接在真空密封件(15)的充气管路上，第一真空规(1)是1个全量程规，或者是不同量程真空规的组合，根据真空密封件(15)漏率的不同范围，标准漏孔(3)是1个标准漏孔或者几个不同量程标准漏孔的组合，真空室(5)采用不锈钢或铝合金制造，并设有加热系统，真空密封件(15)采用金属材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电研究院，未经中国科学院光电研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610473484.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
