[发明专利]一种形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610473674.2 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107541724A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘岗;甄超;陈润泽;成会明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C22/83 | 分类号： | C23C22/83;C23C8/12;C23C8/80;C25D11/02 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电化学电池领域，具体为一种形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法。以金属片或合金片为基体，利用化学腐蚀氧化在金属片或合金基片表面原位生成非晶金属氧化物；将获得的非晶金属氧化物薄膜在不同氧气分压下进行晶化热处理，通过调控热处理温度和时间获得形貌和成分可控的金属氧化物薄膜。本发明通过调控晶化热处理过程中的氧气分压，在金属基体上原位获得特定形貌以及组分可调金属氧化物薄膜的方法，金属氧化物薄膜的形貌和成分是光化学水分解电池用光电极材料的两个重要参数，直接影响光电化学电池的最终转化效率。本发明通过调控热处理过程中的气氛和分压，在金属基体上原位获得特定形貌以及成分可调金属氧化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形貌 成分 可控 金属 氧化物 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：首先，以金属片或合金片为基体，利用化学腐蚀氧化在金属片或合金基片表面原位生成非晶金属氧化物；然后，将获得的非晶金属氧化物薄膜在不同氧气分压下进行晶化热处理，通过调控热处理温度和时间获得形貌和成分可控的金属氧化物薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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