[发明专利]获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统有效
| 申请号： | 201610478719.5 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107543654B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 马平 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统，该方法包括以下步骤：1)通过硬件调节的方法使得压力规的输出值比实际值大于m；2)检测压力规的零漂移值；3)比较(零漂移值－m)的绝对值与预设的零漂移阈值的大小，若(零漂移值－m)的绝对值≤预设的零漂移阈值，则进行步骤4)；4)获取压力规的误差值，其中：误差值＝零漂移值－m。上述方法不仅能解决压力规的规正漂问题，还能解决规负漂问题，获取到压力规的误差值。无论压力规有规正漂问题、规负漂问题，本发明中的获取压力规的误差值的装置的控制器均能指示误差值模块获取所述压力规的误差值，减少了压力规硬件调零的次数，减少了维护成本，延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 压力 误差 方法 装置 控制 系统 | ||
【主权项】：
1.一种获取压力规的误差值的方法，所述压力规用于控制工艺腔室的压力，其特征在于，包括以下步骤：/n1)通过硬件调节的方法使得所述压力规的输出值比实际值大于m，其中，0<m≤压力规的最大误差值；/n2)检测所述压力规的零漂移值；包括：/n2a)在预设时间内，对工艺腔室进行抽气；/n2b)检测所述压力规的零漂移值，其中所述零漂移值＝所述压力规的输出值；/n3)比较所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|与预设的零漂移阈值的大小，若所述零漂移值－m的绝对值|所述零漂移值－m|≤预设的零漂移阈值，则进行下述步骤4)；/n4)获取所述压力规的误差值，其中：/n所述误差值＝所述零漂移值－m。/n
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