[发明专利]一种循环式石墨烯薄膜制备装置有效
申请号: | 201610479544.X | 申请日: | 2016-06-27 |
公开(公告)号: | CN106011797B | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/26 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明涉及一种循环式石墨烯薄膜制备装置,包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B、样品舟A和样品舟B,沿所述低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的底部内壁水平固定设置有滑轨,在所述滑轨上方、所述低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有平板车,所述样品舟A和样品舟B置于对应的所述平板车上;低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B,推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B,取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离样品舟A下方的平板车,取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离样品舟B下方的平板车。有益效果是连续生产等。 | ||
搜索关键词: | 一种 循环 石墨 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】:
1.一种循环式石墨烯薄膜制备装置,其特征在于:包括高温工艺腔(7)、低温冷却腔A(3)、低温冷却腔B(10)、样品舟A(4)和样品舟B(8),所述低温冷却腔A(3)和低温冷却腔B(10)分别通过带胶圈(6.3)的水冷法兰(6)与所述高温工艺腔(7)的两端密封固定连接,所述低温冷却腔A(3)和低温冷却腔B(10)靠近对应的所述水冷法兰(6)的一端分别设有密封阀门A(5)和密封阀门B(9);沿所述低温冷却腔A(3)、高温工艺腔(7)和低温冷却腔B(10)的底部内壁水平固定设置有滑轨(14),所述滑轨(14)在所述密封阀门A(5)和密封阀门B(9)处断开,在所述滑轨(14)上方、所述低温冷却腔A(3)和低温冷却腔B(10)内分别设有平板车(101),所述平板车(101)沿所述滑轨(14)的延伸方向滑动,所述样品舟A(4)和样品舟B(8)分别位于低温冷却腔A(3)和低温冷却腔B(10)内并置于对应的所述平板车(101)上,所述样品舟A(4)和样品舟B(8)随对应的所述平板车(101)位移而位移;所述低温冷却腔A(3)和低温冷却腔B(10)内分别设有结构一致的推舟装置A(1)和推舟装置B(12),所述推舟装置A(1)和推舟装置B(12)上分别可拆卸的连接有向所述高温工艺腔(7)水平延伸的取样杆A(15)和取样杆B(11),所述取样杆A(15)远离所述推舟装置A(1)的一端可由所述推舟装置A(1)带动连接或脱离所述样品舟A(4)下方的所述平板车(101),所述样品舟A(4)下方的所述平板车(101)与所述取样杆A(15)连接后可被所述推舟装置A(1)沿所述滑轨(14)推入或拉出所述高温工艺腔(7),所述取样杆B(11)远离所述推舟装置B(12)的一端可由所述推舟装置B(12)带动连接或脱离所述样品舟B(8)下方的所述平板车(101),所述样品舟B(8)下方的所述平板车(101)与所述取样杆B(11)连接后可被所述推舟装置B(12)沿所述滑轨(14)推入或拉出所述高温工艺腔(7)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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