[发明专利]扩散用高温炉在审
| 申请号： | 201610480202.X | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105887205A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/12;C30B31/16;C30B31/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扩散用高温炉，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。本发明在石英管炉腔外间隔均匀的设置有多组热阻丝，所以可以达到对石英管炉腔进行均匀加热的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 高温 | ||
【主权项】：
一种扩散用高温炉，其特征在于，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。
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